Toissijainen paluuilmajärjestelmä ilmastointijärjestelmälle

Mikroelektronisessa työpajassa, jossa oli suhteellisen pieni puhdastila-ala ja rajoitettu paluuilmakanavan säde, otettiin käyttöön ilmastointijärjestelmän toissijainen paluuilmajärjestelmä. Tätä kaavaa käytetään myös yleisestisiistit huoneetmuilla aloilla, kuten lääketeollisuudessa ja sairaanhoidossa. Koska puhtaan huoneen lämpötilan kosteusvaatimukset täyttävä ilmanvaihtotilavuus on yleensä paljon pienempi kuin puhtaustason saavuttamiseen vaadittava ilmanvaihtotilavuus, tuloilman ja paluuilman välinen lämpötilaero on pieni. Jos käytetään ensiöpaluuilmajärjestelmää, tuloilman tilapisteen ja ilmastointilaitteen kastepisteen välinen lämpötilaero on suuri, tarvitaan toissijaista lämmitystä, mikä johtaa kylmän lämmön siirtymiseen ilmankäsittelyprosessissa ja energiankulutukseen. . Jos käytetään toissijaista paluuilmajärjestelmää, toissijaista paluuilmaa voidaan käyttää korvaamaan ensisijaisen paluuilmajärjestelmän toisiolämmitys. Vaikka primääri- ja toisiopaluuilmasuhteen säätö on hieman vähemmän herkkä kuin sekundäärilämmön säätö, toissijainen paluuilmajärjestelmä on laajalti tunnustettu ilmastoinnin energiansäästötoimenpiteeksi pienissä ja keskisuurissa mikroelektroniikan puhtaan työpajoissa. .

Otetaan esimerkkinä ISO luokan 6 mikroelektroniikan puhdaspaja, puhtaan työpajan pinta-ala 1 000 m2, kattokorkeus 3 m. Sisustussuunnittelun parametrit ovat lämpötila tn= (23±1) ℃, suhteellinen kosteus φn=50%±5%; Suunniteltu tuloilmamäärä on 171 000 m3/h, noin 57 h-1 ilmanvaihtoaikaa ja raitisilmamäärä 25 500 m3/h (josta prosessin poistoilmamäärä on 21 000 m3/h ja loput ylipaineinen vuotoilmatilavuus). Puhdaspajan järkevä lämpökuorma on 258 kW (258 W/m2), ilmastointilaitteen lämpö/kosteussuhde ε=35 000 kJ/kg ja huoneen paluuilman lämpötilaero 4,5 ℃. Tällä hetkellä ensisijainen paluuilmatilavuus
Tämä on tällä hetkellä yleisimmin käytetty puhdistusilmastointijärjestelmä mikroelektroniikkateollisuuden puhdastiloissa, tämäntyyppiset järjestelmät voidaan jakaa pääasiassa kolmeen tyyppiin: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Dry Coil) +FFU. Jokaisella on hyvät ja huonot puolensa ja sopivat paikat, energiansäästövaikutus riippuu pääasiassa suodattimen ja tuulettimen ja muiden laitteiden suorituskyvystä.

1) AHU+FFU-järjestelmä.

Tämän tyyppistä järjestelmätilaa käytetään mikroelektroniikkateollisuudessa "tapana erottaa ilmastointi- ja puhdistusvaihe". Tilanteita voi olla kaksi: yksi on, että ilmastointijärjestelmä käsittelee vain raitista ilmaa, ja käsitelty raitis ilma kantaa kaiken puhdastilan lämpö- ja kosteuskuormituksen ja toimii lisäilmana poistoilman ja ylipainevuotojen tasapainottamiseksi. puhdastilasta tätä järjestelmää kutsutaan myös MAU+FFU-järjestelmäksi; Toinen on se, että raitisilmatilavuus ei yksin riitä täyttämään puhdastilan kylmä- ja lämpökuormitustarpeita tai koska raitis ilma prosessoidaan ulkotilasta tarvittavan koneen kastepistekohtaiseen entalpiaeroon on liian suuri. , ja osa sisäilmasta (vastaa paluuilmaa) palautetaan ilmastointilaitteen käsittelyyksikköön, sekoitetaan raittiiseen ilmaan lämpö- ja kosteuskäsittelyä varten ja lähetetään sitten ilmansyöttöliitäntään. Sekoitettuna jäljelle jääneen puhdastilan paluuilman kanssa (vastaa toissijaista paluuilmaa), se tulee FFU-yksikköön ja lähettää sen sitten puhdastilaan. Vuodesta 1992 vuoteen 1994 tämän artikkelin toinen kirjoittaja teki yhteistyötä singaporelaisen yrityksen kanssa ja johti yli 10 jatko-opiskelijaa osallistumaan Yhdysvaltain ja Hongkongin yhteisyrityksen SAE Electronics Factoryn suunnitteluun, joka otti käyttöön jälkimmäisen tyyppisen puhdistusilmastoinnin ja ilmanvaihtojärjestelmä. Projektissa on noin 6 000 m2 ISO Class 5 puhdastila (josta 1 500 m2 on Japanin ilmakehäviraston sopimus). Ilmastointihuone on järjestetty puhtaan puolen rinnalle ulkoseinää pitkin ja vain käytävän viereen. Raitisilma-, poistoilma- ja paluuilmaputket ovat lyhyitä ja sujuvasti järjestettyjä.

2) MAU+AHU+FFU-järjestelmä.

Tämä ratkaisu löytyy yleisesti mikroelektroniikkalaitoksista, joissa on useita lämpötila- ja kosteusvaatimuksia ja suuria lämpö- ja kosteuskuormituksen eroja, ja myös puhtausaste on korkea. Kesällä raitis ilma jäähdytetään ja kuivataan kiinteään parametripisteeseen. Raitis ilma on yleensä tarkoituksenmukaista käsitellä isometrisen entalpiaviivan ja 95 %:n suhteellisen kosteuden linjan leikkauspisteeseen edustavan lämpötilan ja kosteuden omaavan puhdastilan tai suurimman raitisilmamäärän puhdastilan. MAU:n ilmamäärä määritetään kunkin puhdastilan tarpeiden mukaan ilman täydentämiseksi ja jaetaan jokaisen puhdastilan AHU:lle putkilla vaaditun raitisilmamäärän mukaan ja sekoitetaan jonkin verran sisäilman paluuilmaa lämmöksi. ja kosteuskäsittely. Tämä laite kantaa kaiken lämpö- ja kosteuskuorman sekä osan palveleman puhdastilan uudesta reumakuormasta. Kunkin AHU:n käsittelemä ilma lähetetään jokaisen puhdashuoneen tuloilmaliitäntään ja toissijaisen sekoittumisen jälkeen sisäilman paluuilman kanssa FFU-yksikkö lähettää sen huoneeseen.

MAU+AHU+FFU-ratkaisun tärkein etu on, että se takaa puhtauden ja ylipaineen lisäksi myös jokaisen puhdastilaprosessin valmistukseen vaadittavat erilaiset lämpötilat ja suhteellisen kosteuden. Usein asennettujen AHU-laitteiden lukumäärän vuoksi huonetilan pinta-ala on suuri, puhtaan huoneen raitisilma, paluuilma, ilmansyöttöputket risteävät, vievät suuren tilan, asettelu on hankalampaa, huolto ja hallinta on vaikeampaa ja monimutkainen, joten ei erityisiä vaatimuksia niin pitkälle kuin mahdollista käytön välttämiseksi.