
BSLtech Semiconductor SOLUTION
Osaamisen kehittäminen puolijohdeteollisuudessa vaatii usein puhdastiloja tai laminaarivirtauskaappeja, joilla on korkea ISO-luokka (ISO 5 tai korkeampi). Oletko tekemisissä UV-herkkien prosessien kanssa? Silloinkin BSL toimittaa oikean puhdastilan. Puhdastiloissa on laadukas seinäpinta ja valaistus UV-suodattimella. Käyttämällä antistaattisia (ESD) materiaaleja ja antistaattisia tankoja suodatinjärjestelmässä, ilman staattinen varaus neutraloituu.
Kun kaasunpoistoa ei haluta, BSL tarjoaa puhdastilaa kaasuamattomista materiaaleista (PU). Tämä tekniikka on peräisin ilmailuteollisuudesta.
Tyypilliset prosessit puolijohdeteollisuudessa:
● Substraattien ja piikiekkojen suojaus
● EUV Research
● Maskien kohdistuslaitteet
● Tyhjiöpinnoite, ohutkalvopinnoitus
● Tulostussovellukset
● Optiikka
Etu- ja taustaprosessit